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Am 5. Juli haben wir eine Exkursion zum Lehrstuhl für Technische Physik der Julius-Maximilians-Universität in Würzburg unternommen.

In der ersten Pause ging es zu Fuß zum Hauptbahnhof und  weiter mit dem Zug bzw. Stadtbus zum Hubland.

Anschließend sind wir über den Campus der Universität gelaufen und haben einen Überblick über die verschiedenen Fakultäten und die Universitätsbibliothek bekommen. Im Hörsaalgebäude durften wir erste „Vorlesungsluft“ schnuppern. Danach gab es eine kleine Stärkung in der Mensa. Am frühen Nachmittag ging es dann in das Physikgebäude, wo wir einen kurzen Vortrag über Nanotechnologie und Optoelektronik hörten. Darin wurde erklärt, wie Halbleiterschichten aufgebaut sind, wie sie verarbeitet und wozu sie verwendet werden. Dann gingen wir endlich in das Mikrostrukturlabor, in dem Halbleiterstrukturen hergestellt werden. Dazu teilten wir uns in zwei Gruppen auf. Die eine Gruppe musste sich Schutzanzüge anziehen und durfte direkt in den Reinraum. Dies ist nötig, da bereits kleinste Staubpartikel die Herstellungsprozesse stören. Im Reinraum bekamen wir die einzelnen wesentlichen Schritte zur Herstellung von Halbleiterstrukturen gezeigt. Eine der letzten Arbeiten, das sogenannte „Bonden“  durften einige von uns selbst ausführen. Dabei wird die hergestellte Struktur mit einem Golddraht kontaktiert, damit sie mit Strom versorgt werden kann. Beeindruckend war vor allem, mit welcher Präzision im Reinraum gearbeitet wird.
Im Reinraum  muss eine bestimmte Temperatur und Luftfeuchtigkeit vorliegen. Zudem wird, damit der Raum staubfrei bleibt, permanent Luft von der Decke nach unten durch den Fußboden geblasen. Die Technik, die dies bewerkstelligt, konnten wir uns anschließend anschauen, während die andere Gruppe in den Reinraum ging. Außerdem zeigte man uns noch einige Experimente mit flüssigem Stickstoff. Dieser ist etwa minus 200°C kalt. Beispielsweise wurde eine Blume hineingehalten, so dass sie danach tiefgefroren in ihre Einzelteile zerbrochen werden konnte. Außerdem wurde gezeigt und erklärt, dass man kurzzeitig flüssigen Stickstoff über seine Hand schütten kann, ohne dass es zu Erfrierungen kommt. Ein weiteres Experiment war mit einem aufgeblasenen Luftballon, der sich durch die Abkühlung zusammenzog und anschließend wieder ausdehnte.

Wir möchten uns nochmal für die Organisation der Exkursion bedanken, insbesondere bei den Referenten Dr. Christian Schneider und Holger Suchomel, die uns die Herstellung von Halbleiterstrukturen sehr anschaulich erklärten. Es war ein sehr interessanter und informativer Tag.    

Anna-Nhi Lam, Nur Ates